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根据《建设项目竣工环境保护验收管理办法》、《关于规范建设单位自主开展建设项目竣工环境保护验收的通知（征求意见稿）》、《建设项目竣工环境保护验收技术指南污染影响类》等有关规定，建设单位于2024年09月06日组织验收组踏勘了建设项目现场，对验收监测报告进行了审查，提出了验收意见。为更好地做好本项目的环境保护工作，现对该项目竣工环境保护验收报告及验收意见进行公示。

一、项目简介

苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司（以下简称公司）成立于2018年3月，由苏州长光华芯光电技术有限公司（以下简称长光华芯光电公司）与苏州高新区政府共同创立，位于苏州高新区科技城漓江路56号，主要进行半导体光电器件及系统的开发研究及生产，包括薄膜外延生长、芯片加工、光电器件制作、光学模块、光电系统集成。

半导体激光器是本项目产品之一，又称激光二极管，是用半导体材料作为工作物质的激光器。它体积小、寿命长，在激光通信、光存储、光陀螺、激光打印、测距以及雷达等方面已经获得了广泛的应用。其工作原理是通过一定的激励方式，在半导体物质的能带（导带与价带）之间，或者半导体物质的能带与杂质（受主或施主）能级之间，实现非平衡载流子的粒子数反转，当处于粒子数反转状态的大量电子与空穴复合时便产生受激发射作用。高能激光发展的核心之一是半导体激光器，2017年半导体激光器中国市场收入较2016年增长15.5%，达到21.9亿美元。中国作为全球最大制造国，我国芯片主要依赖国外进口，特别是在高速光通讯、3D传感等蓬勃发展的领域中。作为全球最大的消费市场，我国对于芯片产业有各种不同的需求，对于低端芯片需求量也非常大，芯片的进口严重阻碍了我国的高新技术产业的发展。在当下科技竞争的背景下，发展芯片产业具有一定的紧迫性，过程会很曲折，但是只有将核“芯”技术掌握在自己手中才是硬道理。为了解决我国高功率半导体激光器芯片及器件的“空心化”问题，公司利用苏州长光华芯光电技术有限公司已有的高功率半导体激光芯片优势，积极向激光3D传感芯片，高速光通信芯片、激光照明等方向与领域拓展，全面打造中国激光芯。因此，苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司投资20000万元建设年产芯片3亿件、光电器件100万件、光学模块5万件、光电系统1000台项目。

环评审批过程：本项目投资20000万元进行年产芯片3亿件、光电器件100万件、光学模块5万件、光电系统1000台项目建设。项目已通过苏州高新区经济发展和改革局备案，项目代码为2018-320505-39-03-550372。2019年11月，企业委托苏州市77779193永利科技股份有限公司编制了《苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司年产芯片3亿件、光电器件100万件、光学模块5万件、光电系统1000台项目环境影响报告表》，并于2020年2月4日取得苏州市行政审批局的审批意见（苏行审环评[2020]90054号）。

验收工作的开展：2024年7月17日-18日、8月7日-8日和8月26日-27日，公司委托苏州环优检测有限公司及江苏德昊检测技术服务有限公司对“苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司年产芯片3亿件、光电器件100万件、光学模块5万件、光电系统1000台项目”进行验收监测，根据验收监测结果及现场情况进行自主验收，由苏州市77779193永利科技股份有限公司编制验收调查报告。

变动情况：对照环评，本项目验收氮气柜数量较环评增加6台，光刻、湿法刻蚀工段各式测试仪数量较环评增加7台，以上均为辅助设备：此外，在生产工艺无变化的前提下，衬底原料用5kg氮化镓替代砷化镓，湿法刻蚀工段使用环评未涉及的氢氧化铵；

环评中外延工序产生少量未反应气体（磷烷、砷烷、硅烷、氨气）和反应生成气体（甲烷、颗粒物）通过设备配套过滤器处理后，经管道输送至洗涤塔一级处理（其中氨气为碱性，单独进入氨气洗涤塔），再进入碱液喷淋塔二级处理，最后经2#生产楼屋顶的25米排气筒P1排放；

项目实际从安全角度考虑，2台以氮化镓衬底原料、氨气为反应气体的外延工序废气经水喷淋预处理，和酸性废气以及设备自带过滤器-燃烧器预处理的外延工段少量未反应完的硅烷气体（磷烷、砷烷、硅烷、氨气）和反应生成气体（甲烷、颗粒物）一同汇入碱液喷淋塔装置处理，尾气由2#生产楼屋顶的25米排气筒P1排放；其余16台化学气相外延MOCVD设备中每4台设备对应一套二级加药喷淋装置（加入次氯酸钠、氢氧化钠、磷酸药剂）（共设置5套，4用1备）处理后通过4根25米高排气筒排放（P3、P4、P5、P6，此外P7为备用处理设施对应排气筒），且设置砷烷、磷烷排放在线监控报警系统；使用砷烷、磷烷的外延废气经管道输送至洗涤塔和二级加药喷淋装置处理，尾气由2#生产楼屋顶的25米排气筒P3、P4、P5、P6排放；

此外，项目实际对危废中代码有误（有机废液）、代码变更（废气处理失效活性炭）、产生量有偏差（刻蚀废液）、定义有误（光催化UV灯管）、遗漏（氢氧化铵废碱液）等问题一并进行变动修正。

公司于2023年12月委托苏州市77779193永利科技股份有限公司编制《苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司年产芯片3亿件、光电器件100万件、光学模块5万件、光电系统1000台项目一般变动环境影响分析报告》，并对废气处理设施的变更进行了专家评审，对照《污染物影响类建设项目重大变动清单（试行）》（环办环评函〔2020〕688号），明确以上不属于重大变动，纳入验收范围。

（1）废水

公司厂区雨污水分流，项目生产废水主要为一般酸碱废水、含砷废水、含砷抛光废水、含砷研磨废水、含氟废水、含氮磷废水、有机废水、公辅废水以及生活污水，其中：

一般酸碱废水经中和预处理后，同公辅废水（制纯浓水、冷却排水）、食堂废水（经隔油预处理）和生活污水一并通过市政管网接入科技城水质净化厂统一处理，尾水排入浒东运河；

含氟废水（包括碱液喷淋废水）经化学沉淀-砂滤-树脂交换预处理；有机废水和含氮废水经高级氧化-生物反应槽预处理；含砷研磨废水经超滤和砂滤预处理后与经超滤和RO处理后的含砷抛光废水一并进入化学沉淀预处理；其他含砷废水和含氮磷废水经化学沉淀预处理；以上预处理后的废水合并进入三效蒸发系统处理，出水经RO后回用生产系统（纯水制备），无外排；浓水委外处理；

公司设置900m3的消防尾水池（事故应急水池），并在两个雨水排口设置应急截止阀门。

（2）废气

本项目硅烷外延尾气经过滤+燃烧器+碱液喷淋塔预处理；酸洗、刻蚀等工段酸性废气由2套并联碱液喷淋塔预处理；氧化尾气由设备密闭收集后进入设备自带过滤器+燃烧器预处理，以上预处理后的废气合并由25m高的P1排气筒排放；

有机废气集气罩收集后，经2套光催化氧化+活性炭吸附装置处理（1用1备），尾气由25m高的P2排气筒排放；

砷烷、磷烷使用工序产生的废气由设备密闭收集，经五套（四用一备）过滤+二级加药喷淋装置处理后，分别通过25m高的P3、P4、P5、P6、P7（备用）排气筒达标排放；

以上环节未收集到的废气车间无组织外排。封装、回流工段产生的焊接烟尘采用集气罩收集后经焊烟净化器处理后无组织排放，产生量较少，忽略不计。

项目以厂界边界为起点设置100米卫生防护距离，目前以上范围内无居民等环境敏感点。

此外，项目设置3个25m排气筒用于车间内强排风及热排风；食堂油烟经油烟净化器处理后屋顶外排。

（3）噪声

本项目噪声主要为各类研磨、焊接、切割、打磨等设备和空压机、废气处理风机等运行产生的噪声，企业通过隔声、减振和距离衰减等措施，噪声可以得到一定程度的削弱，减小对周围的环境影响。

（4）固体废弃物

本项目产生的固体废物主要为危险固废、一般工业固废、生活垃圾。其中：

危险废物中的废去光胶剂、废去光胶剂、废显影液、酸洗废液、有机废液委托苏州新区环保服务中心有限公司处置；废灯管、刻蚀废液委托苏州步阳环保科技有限公司处置；刻蚀槽清洗废液、碳化涂层、废滤芯、晶圆边角料、无尘布、危险废物包装、废活性炭、含氟污泥、含砷污泥、废盐渣、废滤膜、废反渗透膜、废碱液、在线监测废液委托苏州新区环保服务中心有限公司处置；

项目设置面积30m2的危废仓库，位于厂区东南角，建设符合《危险废物贮存污染控制标准》（GB18597-2023）的要求。

一般工业固废主要为废金属靶材、残余镀料、残余镀料、不合格品、一般废包装，收集后定期委托州鑫雨丰环保科技有限公司综合利用。

项目设置面积100m²的一般固废仓库，位于厂区东北角，一般工业固体废物贮存基本满足《一般工业固体废物贮存和填埋标准》（GB 18599-2020）。

项目生活垃圾、餐厨垃圾由苏州鑫雨丰环保科技有限公司收集外运处理，日产日清。

二、建设单位名称和联系方式

建设单位：苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司

建设地点：苏州高新区科技城漓江路56号

联系人：韦工

联系电话：17312540120

邮编：215299

三、征求公众意见的主要事项

（1）请公众提供个人准确信息主要包括：姓名、职业、文化程度、家庭住址及联系电话；